特許
J-GLOBAL ID：200903059064557262
感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 洋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327699
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153854
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 特に、反射型TFT型液晶ディスプレイ等の、低消費電力型液晶ディスプレイの層間絶縁層のパターン形成や、絶縁ペーストパターン、導電ペーストパターンの形成等に好適な、透明性、耐熱性、硬化性に優れた感光性樹脂組成物およびパターン形成方法を提供する。【解決手段】 (1)アルカリ可溶性アクリル系高分子バインダー、(2)キノンジアジド基含有化合物、(3)架橋剤、および(4)光酸発生剤を含有させて感光性樹脂組成物とし、さらに、該感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥後、マスクパターンを介して選択的に露光、現像してポジ画像パターンを形成し、次いで加熱することにより該ポジ画像パターンを架橋硬化させてパターンを形成する。
請求項（抜粋）：
(1)アルカリ可溶性アクリル系高分子バインダー、(2)キノンジアジド基含有化合物、(3)架橋剤、および(4)光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/004
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/022 601
, G03F 7/033
, G03F 7/40 501
G03F 7/004 503 Z
, G03F 7/004 503 A
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/022 601
, G03F 7/033
, G03F 7/40 501
