特許
J-GLOBAL ID:200903021823138655

メタルマスクおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-223478
公開番号(公開出願番号):特開2004-058601
出願日: 2002年07月31日
公開日(公表日): 2004年02月26日
要約:
【課題】使用中の温度上昇によるマスク部の弛みを抑制したメタルマスクおよびその製造方法を提供する。【解決手段】マスク部と、該マスク部を外周から保持するフレーム部とを具備するメタルマスクであって、マスク部は、20〜300°Cの線熱膨張係数αM(20〜300°C)≦10×10-6の材料からなり、フレーム部は、その20〜300°Cの線熱膨張係数αF(20〜300°C)が[αM(20〜300°C)/αF(20〜300°C)]≧1の材料からなり、マスク部が張力を維持してフレーム部に保持されているメタルマスクである。そして、マスク部をフレーム部に溶接して、該マスク部の外周を保持するメタルマスクの製造方法であって、該溶接時に達するマスク部の温度TM、フレーム部の温度TFに対し、[αM(20°C〜TM)/αF(20°C〜TF)]≧1の関係を満たすマスク部とフレーム部を溶接するメタルマスクの製造方法である。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
マスク部と、該マスク部を外周から保持するフレーム部とを具備するメタルマスクであって、マスク部は、その20〜300°Cの線熱膨張係数αM(20〜300°C)が10×10-6以下の材料からなり、フレーム部は、その20〜300°Cの線熱膨張係数αF(20〜300°C)がマスク部の線熱膨張係数αM(20〜300°C)との関係において[αM(20〜300°C)/αF(20〜300°C)]≧1の材料からなり、マスク部が張力を維持してフレーム部に保持されていることを特徴とするメタルマスク。
IPC (2件):
B41N1/24 ,  B41F15/36
FI (2件):
B41N1/24 ,  B41F15/36 B
Fターム (7件):
2C035AA06 ,  2C035FF16 ,  2C035FF26 ,  2H114AB11 ,  2H114DA04 ,  2H114EA04 ,  2H114FA01
引用特許:
審査官引用 (4件)
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