特許
J-GLOBAL ID：200903021899550032

固体撮像素子及びその製造方法

発明者：
大森 宏紀

大森 宏紀 について

, 
古田 達彦

古田 達彦 について

, 
田口 貴雄

田口 貴雄 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-072356
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269474
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】マイクロレンズ形成時のレンズ間スペースの制御性に優れ、またレンズ融着によるレンズ未形成部分の発生を抑え、マイクロレンズ形成安定性を高めることにより実効感度の高く、かつ、良好な色再現性が得られる固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】固体撮像素子上のマイクロレンズを、複数の受光部の中から市松状に選択された受光部上にマイクロレンズを形成する第一工程、前記第一工程において選択されなかった受光部上にマイクロレンズを形成する第二工程により形成する。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に複数の受光部を備え、その上に少なくともマイクロレンズを形成する固体撮像素子の製造方法において、複数の受光部の中から市松状に選択された受光部上にマイクロレンズを形成する第一工程、前記第一工程において選択されなかった受光部上にマイクロレンズを形成する第二工程を少なくとも具備することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
IPC (3件)：
H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H04N 5/335
FI (4件)：
H01L 27/14 D ,  G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  H04N 5/335 V
Fターム (18件)：
4M118AA06 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA31 ,  5C024EA04 ,  5C024FA01 ,  5C024FA18 ,  5C024GA01
引用特許：
審査官引用 (5件)
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