特許
J-GLOBAL ID：200903021912411365
力フィードバック付き微動位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154149
公開番号（公開出願番号）：特開平8-328662
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 微動位置決め装置において、より低コストのあるいは機械的干渉を生じない手段により、速応性を向上させる。【構成】 位置決めがなされる基板1と、基板を駆動するピエゾ素子と変位拡大機構とからなるアクチュエータ20と、アクチュエータ近傍において基板の変位を検出する位置センサ3と、前置増幅器6、プログラマブルゲイン要素7、および電流出力型の電力増幅器8を備え、位置センサの出力を外部からの指令電圧と比較して偏差信号eを取得し、この偏差信号に基づき、前置増幅器およびプログラマブルゲイン要素を介して電流出力型の電力増幅器を励磁し、その出力電流によりアクチュエータを駆動するフィードバック装置と、アクチュエータの中に組み込んだ力センサ10と、力センサの出力を電気信号に変換する力検出器11と、力検出器の出力に対して補償をかける力補償器12を備え、これを介して力センサの出力を電流出力型の電力増幅器の入力側に負帰還させる力フィードバック手段とを具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
位置決めがなされる基板と、前記基板を駆動するピエゾ素子と変位拡大機構とからなるアクチュエータと、前記アクチュエータ近傍において前記基板の変位を検出する位置センサと、前置増幅器、プログラマブルゲイン要素、および電流出力型の電力増幅器を備え、前記位置センサの出力を外部からの指令電圧と比較して偏差信号を取得し、この偏差信号に基づき、前記前置増幅器および前記プログラマブルゲイン要素を介して前記電流出力型の電力増幅器を励磁し、その出力電流により前記アクチュエータを駆動するフィードバック装置と、前記アクチュエータの中に組み込んだ力センサと、前記力センサの出力を電気信号に変換する力検出器と、前記力検出器の出力に対して補償をかける力補償器を備え、これを介して前記力センサの出力を前記電流出力型の電力増幅器の入力側に負帰還させる力フィードバック手段とを具備することを特徴とする力フィードバック付き微動位置決め装置。
IPC (3件)：
G05D 3/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
G05D 3/00 G
, H01L 21/68 F
, H01L 21/30 503 A
, H01L 21/30 508 A
, H01L 21/30 511
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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