電気的テストプローブ及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：風早信昭 , 浅野典子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-531188
公開番号（公開出願番号）：特表2005-504962
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

プローブプランジャー(14a,b)及びその製造方法が提供される。プローブプランジャー(14a,b)はパラジウム-コバルト合金の如き比較的硬くかつ比較的低い接触抵抗の外側層(20)を含む。いくつかの実施態様において、外部表面(22)の一部は自己制限酸化物の少なくとも一つの領域を含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

以下のものを含むプローブプランジャー: 外部表面を有するベース; ベースの外部表面の上に横たわりかつベースの外部表面と直接接触するバリア層;及びバリア層の外部表面の上に横たわりかつバリア層の外部表面と直接接触するパラジウム-コバルト合金外側層。

IPC (1件)：

G01R1/067

FI (1件)：

G01R1/067 J

Fターム (3件)：

2G011AA04 , 2G011AB03 , 2G011AC14

引用特許：

審査官引用 (2件)

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