特許
J-GLOBAL ID：200903022050804924
液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-173339
公開番号（公開出願番号）：特開2005-349714
出願日： 2004年06月11日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】レーザーアニールによる圧電体の結晶化によって、安価でしかも高性能な圧電素子を製作する。【解決手段】圧力室2、液体供給口3、ノズル4等を含む液流路となる溝を形成したSi基板1に耐熱ガラスの振動板5を陽極接合し、その上に下部電極11を成膜したのち、アモルファスの圧電体膜を成膜し、圧力室2に対応する部位にレーザー光を照射し、結晶化させることで圧電膜12を形成する。レーザー光を照射しないアモルファス部分12bとの間には、アモルファスと結晶が混在する中間層12cが設けられ、これらの領域上には、上部電極13を外部に接続するワイヤーボンディングのためのパッド14が形成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電素子によって圧力室を加圧し、吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子の材料としてアモルファスの圧電体膜を形成する工程と、
該アモルファスの圧電体膜にレーザー光を照射して結晶化させることで前記圧電素子を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (7件)：
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/187
, H01L41/22
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 J
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP34
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
