特許
J-GLOBAL ID：200903022168734858
真空成膜プロセス装置及び該装置用の搬送キャリア兼マスキング部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-176680
公開番号（公開出願番号）：特開平10-018035
出願日： 1996年07月05日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：
【要約】【課題】 基板に対して所定膜を成膜するために、マスキンギ板に基板をセットして略起立した状態でプロセスチャンバー内を連続搬送することでメンテナンスフリーにするか、それに近づける。【解決手段】 基板10をセットしたマスキング板11を大気中から減圧投入チャンバー150内に連続供給し、減圧投入チャンバーに連通する搬送部2に対してマスキング板11を受け渡してから、基板の表面上に所定膜を成膜するプロセスチャンバー5内を連続搬送し、搬送部に連通する減圧排出チャンバー4からマスキング板を外部に取出すように構成する。
請求項（抜粋）：
基板をセットしたマスキング板を大気中から減圧投入チャンバー内に連続供給し、前記減圧投入チャンバーに連通する搬送部に対して前記マスキング板を受け渡してから、前記基板の表面上に所定膜を成膜するプロセスチャンバー内を連続搬送し、前記搬送部に連通する減圧排出チャンバーから前記マスキング板を外部に取出すように構成された真空成膜プロセス装置であって、前記減圧投入チャンバー内に配設されるとともに前記マスキング板の複数分を一時収納するとともに取出し位置に上下移動する第1の収納手段と、前記第1の収納手段から前記マスキング板の両側面部位を把持部により把持して前記第1の収納手段から一枚ずつ取り出して、前記搬送部の上流側に前記マスキング板を供給するための第1の移載手段と、前記マスキング板を略起立状態の姿勢に保ちつつ前記プロセスチャンバー内を搬送する前記搬送手段と、前記搬送手段の下流側において前記成膜された前記マスキング板の両側面部位を把持部により把持して前記搬送手段から一枚ずつ取り出すために前記減圧排出チャンバー内に配設される第2の移載手段と、前記減圧排出チャンバー内に配設されるとともに前記マスキング板の複数分をを一時収納するために受け取り位置に上下移動する第2の収納手段とを具備することを特徴とする真空成膜プロセス装置。
引用特許：
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