特許
J-GLOBAL ID:200903022190094366

圧電振動子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 敬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-186896
公開番号(公開出願番号):特開2007-006375
出願日: 2005年06月27日
公開日(公表日): 2007年01月11日
要約:
【課題】 従来の圧電振動子では、圧電振動子の小型化により、電極が小さくなり、電界が小さくなるため、等価直列抵抗Rが大きくなるという問題があった。【解決手段】 本発明の圧電振動子1は、振動腕部2、3と、基部4とから構成されている。振動腕部2、3には、貫通孔5、6が形成され、貫通孔5、6の内壁には電極が形成されている。そして、貫通孔5、6には埋め込み部材27、28が形成されている。この構造により、圧電振動子1の小型化により振動腕部2、3の幅W1が狭くなった場合でも、振動腕部2、3の厚みを利用して電極形成領域を確実に確保することができる。また、振動腕部2、3における機械的強度を維持することができる。その結果、圧電振動子1の小型化を実現しつつ、等価直列抵抗Rも小さくすることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
屈曲モードで振動し、上面、下面及び側面を有する一対の振動腕部と、 前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部とを有し、 前記振動腕部には前記上下面の間を貫通する貫通孔が形成され、前記振動腕部の側面と対向する前記貫通孔の内壁には電極が形成され、且つ前記貫通孔には埋め込み部材が形成されていることを特徴とする圧電振動子。
IPC (2件):
H03H 9/215 ,  H03H 3/02
FI (2件):
H03H9/215 ,  H03H3/02 D
Fターム (13件):
5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108CC12 ,  5J108DD05 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK05 ,  5J108MM08 ,  5J108MM15
引用特許:
出願人引用 (2件)

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