特許

J-GLOBAL ID：200903022279224964

炭化珪素質焼成用道具材およびその製造方法

発明者： 番屋 新二 ,  岡田 裕
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (2件)： 波多野 久 ,  関口 俊三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-307147
公開番号（公開出願番号）：特開2006-117472
出願日： 2004年10月21日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：

【課題】被焼成物時の省エネルギーの向上、生産性の向上および被焼成物を均一に反応処理することが可能で安価な炭化珪素質焼成用道具材およびその製造方法を提供する。【解決手段】本炭化珪素質焼成用道具材は、炭化珪素質基材が見掛け気孔率20%以上、かつ見掛け比重3.20以下であり、前記炭化珪素質基材表層の炭化珪素結晶表面に二酸化珪素層が形成される。また、その製造方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

炭化珪素質基材が見掛け気孔率20%以上、かつ見掛け比重3.20以下であり、前記炭化珪素質基材表層の炭化珪素結晶表面に二酸化珪素層が形成されたことを特徴とする炭化珪素質焼成用道具材。

IPC (2件)：

C04B 35/565 ,  C04B 35/64

FI (2件)：

C04B35/56 101X ,  C04B35/64 J

Fターム (17件)：

4G001BA03 ,  4G001BA14 ,  4G001BA22 ,  4G001BB03 ,  4G001BB14 ,  4G001BB22 ,  4G001BC17 ,  4G001BC23 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC72 ,  4G001BD01 ,  4G001BE33 ,  4K055HA02 ,  4K055HA21 ,  4K055HA23 ,  4K055HA25

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 炭化珪素部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-006276   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 電子部品用セラミックスの熱処理用治具およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-109938   出願人：東芝セラミックス株式会社

審査官引用 (3件)

• 炭化ケイ素焼結体の熱処理方法および炭化ケイ素熱処理体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-294705   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 焼成用容器の再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-334593   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 多孔質炭化珪素焼結体およびこの多孔質炭化珪素焼結体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-024291   出願人：東芝セラミックス株式会社