特許
J-GLOBAL ID：200903034381840147

炭化珪素部材およびその製造方法

発明者：
森田 修

森田 修 について

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望月 陽一郎

望月 陽一郎 について

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福岡 聖一

福岡 聖一 について


出願人/特許権者：
東芝セラミックス株式会社

東芝セラミックス株式会社 について


代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-006276
公開番号（公開出願番号）：特開2001-278685
出願日： 2001年01月15日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：
【要約】【課題】被熱処理物と反応しにくく、軽量化が図られ、かつセラミック溶射被膜が剥離しにくい炭化珪素部材を提供する。【解決手段】気孔率が0.1%以下で、表面3が中心線平均粗さ(Ra)3〜15μmに粗面化された常圧焼結炭化珪素製の基材2と、この基材2の表面3の一部または全部に形成された複数層のセラミック溶射被膜4とを有し、このセラミック溶射被膜4の最外層5はジルコニアセラミック溶射被膜である炭化珪素部材。また、その製造方法。
請求項（抜粋）：
気孔率が0.1%以下で、表面が中心線平均粗さ(Ra)3〜15μmに粗面化された常圧焼結炭化珪素製基材と、この基材の表面の一部または全部に形成された複数のセラミック溶射被膜層とを有し、このセラミック溶射被膜の最外層はジルコニア質溶射被膜であることを特徴とする炭化珪素部材。
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (22件)
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