特許
J-GLOBAL ID：200903022325036531

三次元形状測定装置

発明者：
青木 洋

青木 洋 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-022204
公開番号（公開出願番号）：特開2009-180689
出願日： 2008年02月01日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：
【課題】 正確な位相計算により測定精度の向上を可能とする三次元計測装置を提供する。【解決手段】 三次元計測装置(100)は、光源から出力された光を所定のパターン光に整形して被検査物に投影する投影光学部(23)と、被検査物上に投影される所定のパターン光を位相シフトさせる走査部(22)と、被検査物上への所定のパターン光の走査投影により生じるパターン像を結像する結像光学部(31)と、結像光学部により結像されたパターン像を撮像する撮像部(32)と、画像データを補正するとともに、この補正された画像データに基づいて前記被検査物の形状の情報を求める制御部(40)と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源から出力された光を所定のパターン光に整形して被検査物に投影する投影光学部と、 前記被検査物上に投影される前記所定のパターン光を位相シフトさせる走査部と、 前記被検査物上への前記所定のパターン光の走査投影により生じるパターン像を結像する結像光学部と、 前記結像光学部により結像された前記パターン像を撮像する撮像部と、 前記画像データを補正するとともに、この補正された画像データに基づいて前記被検査物の形状の情報を求める制御部と、 を備えることを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/25
FI (1件)：
G01B11/25 H
Fターム (10件)：
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065EE01 ,  2F065EE03 ,  2F065FF07 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN02 ,  2F065PP12
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
  • 3次元形状測定方法及びその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-018483   出願人：オリンパス株式会社
  • 特開平3-289505
  • 干渉計
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-247138   出願人：株式会社ニコン
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