特許
J-GLOBAL ID：200903022326967210
パターン欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡崎 謙秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-009483
公開番号（公開出願番号）：特開平9-193515
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 パターンの欠け、にじみ、汚れ等の微小な欠陥を正確に判断するパターン欠陥検査装置。【解決手段】 撮像手段5と、A/D変換手段9と、画像記憶手段11と、パターン濃度検出手段12と、パターン特徴抽出手段13と、パターン切り出し処理手段14と、良品形状記憶手段15と、良品特徴記憶手段16と、良品形状補正データ算出手段17と、良品画像を生成する良品画像生成手段18と、良品比較手段19と、2値化処理手段20と、ラベリング処理手段21と、複数特徴量算出手段22と、パターン欠陥判断手段23とを有する。
請求項（抜粋）：
撮像手段により撮像された被検査物の映像信号をA/D変換して濃淡画像データとするA/D変換手段と、濃淡画像データを記憶する画像記憶手段と、前記濃淡データにおけるパターン部分と背景部分の代表値を検出するパターン濃度検出手段と、前記濃淡データにおけるパターン部分の特徴データを算出するパターン特徴抽出手段と、パターン部分の画像を切り出すパターン切り出し処理手段と、良品パターンの形状データを予め記憶させておく良品形状記憶手段と、パターン特徴抽出手段により求められた良品パターンの特徴データを予め記憶しておく良品特徴記憶手段と、検査対象物のパターン特徴データと良品特徴データに基づいて、良品形状データを検査対象物の状態に合わせるための補正データを算出する良品形状補正データ算出手段と、前記良品形状補正データ算出手段により算出される補正データと前記パターン濃度抽出手段により得られる濃度データを基に良品形状データから良品画像を生成する良品画像生成手段と、パターン切り出し画像と生成良品画像との差分により良品との比較を行う良品比較手段と、前記良品比較手段により得られた差分濃淡画像データを2値化画像データに変換する2値化処理手段と、前記2値化画像データを2値化連続画像領域毎に番号付けをするラベリング処理手段と、前記2値化連続画像領域毎に、前記記憶手段に記憶された濃淡画像データと前記2値化処理手段による2値画像データとに基づいて、複数の特徴量を求める複数特徴量算出手段と、前記複数特徴量を用いて欠陥判断結果を出力するパターン欠陥判断手段とを有することを特徴とするパターン欠陥検査装置。
IPC (3件)：
B41J 29/46
, H04N 7/18
, H05K 13/08
B41J 29/46 D
, H04N 7/18 B
, H05K 13/08 D
