特許
J-GLOBAL ID：200903022350761291

露光用ガスレーザ装置

発明者：
鈴木 徹

鈴木 徹 について

, 
溝口 計

溝口 計 について

, 
関 匡平

関 匡平 について

, 
三村 龍夫

三村 龍夫 について


出願人/特許権者：
ギガフォトン株式会社

ギガフォトン株式会社 について

, 
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (2件)： 木村 高久 ,  小幡 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-376154
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142306
出願日： 2003年11月05日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】 露光装置等の光学素子へ与えるダメージが小さく、しかも、音響波の影響によるレーザビーム品質の劣化が小さい高繰り返しの露光用ガスレーザ装置を提供すること。【解決手段】 レーザ光L1を放出するレーザ100と、レーザ光L2を放出するレーザ300とを含む露光用ガスレーザ装置において、ビーム合成器6によりレーザ光L1、L2の進行方向を略一致させ、レーザ100とレーザ300の動作を交互に行うとともに、各レーザ光L1、L2のパルスエネルギーを露光装置の光学部品にダメージを殆ど与えない最大パルスエネルギー以下となるように制御するように構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
高電圧に充電される第1のコンデンサと、第1のスイッチと、この第1のスイッチがオンとなったとき上記第1のコンデンサに蓄えられた電荷をパルス圧縮して出力する第1の磁気パルス圧縮回路とを含む第1の発振用高電圧パルス発生器と、 レーザガスが封入された第1のレーザチャンバと、この第1のレーザチャンバ内に配置され、上記第1の高電圧パルス発生器に含まれる第1の磁気パルス圧縮回路の出力端に接続される第1の一対の放電電極と、レーザ光を狭帯域化する第1の狭帯域化モジュールを有するレーザ共振器とを含む第1の放電励起ガスレーザと、 高電圧に充電される第2のコンデンサと、第2のスイッチと、この第2のスイッチがオンとなったとき上記第2のコンデンサに蓄えられた電荷をパルス圧縮して出力する第2の磁気パルス圧縮回路とを含む第2の発振用高電圧パルス発生器と、 レーザガスが封入された第2のレーザチャンバと、この第2のレーザチャンバ内に配置され、上記第2の高電圧パルス発生器に含まれる第2の磁気パルス圧縮回路の出力端に接続される第2の一対の放電電極と、レーザ光を狭帯域化する第2の狭帯域化モジュールを有するレーザ共振器とを含む第2の放電励起ガスレーザと、 上記第1のコンデンサおよび第2のコンデンサを充電する少なくとも1つの充電器と、 上記第1のレーザチャンバにレーザガスを充填し、また、排気する第1のレーザガス充填・排気手段と、 上記第2のレーザチャンバにレーザガスを充填し、また、排気する第2のレーザガス充填・排気手段と、 第1の放電励起ガスレーザから放出される第1のレーザ光の少なくともビーム品質をモニタする第1のモニタと、 第2の放電励起ガスレーザから放出される第2のレーザ光の少なくともビーム品質をモニタする第2のモニタと、 上記第1のレーザ光の進行方向と第2のレーザ光の進行方向とを略一致させるビーム合成器と、 制御手段とからなり、 上記制御手段は、露光装置からの発光指令に基づき、上記第1のスイッチおよび第2のスイッチを交互に動作させるとともに、 上記第1のモニタで検出したビーム品質に相当する信号に基づき、上記第1のレーザ光のパルスエネルギーが所定のエネルギーとなるように、第1のコンデンサの充電電圧、上記第1のレーザガス充填・排気手段の動作による第1のレーザチャンバ内のレーザガス条件の少なくとも1つを制御し、 上記第2のモニタで検出したビーム品質に相当する信号に基づき、上記第2のレーザ光のパルスエネルギーが所定のエネルギーとなるように、第2のコンデンサの充電電圧、上記第2のレーザガス充填・排気手段の動作による第2のレーザチャンバ内のレーザガス条件の少なくとも1つを制御する ことを特徴とする露光用ガスレーザ装置。
IPC (5件)：
H01S3/104 ,  H01L21/027 ,  H01S3/00 ,  H01S3/036 ,  H01S3/23
FI (5件)：
H01S3/104 ,  H01S3/00 B ,  H01S3/23 ,  H01L21/30 527 ,  H01S3/03 J
Fターム (22件)：
5F046CA04 ,  5F046CA10 ,  5F046CB02 ,  5F046CB22 ,  5F071AA04 ,  5F071AA06 ,  5F071DD04 ,  5F071EE04 ,  5F071GG05 ,  5F071HH02 ,  5F071JJ03 ,  5F071JJ07 ,  5F072AA06 ,  5F072GG05 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ07 ,  5F072KK05 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072MM07 ,  5F072SS06 ,  5F072YY09
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 特許3253930号公報
  • パルス発振ガスレーザ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-243258   出願人：ギガフォトン株式会社
  • パルス発振型ガスレーザ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-276778   出願人：ギガフォトン株式会社
全件表示
審査官引用 (1件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM