パルス発振ガスレーザ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松澤統
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-243258
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060270
出願日： 2001年08月10日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】主放電によって発生する衝撃波の影響を低減し、安定なレーザ発振を行なうことができるガスレーザ装置を提供する。【解決手段】対向した一対の放電電極(14,15)間にパルス状の主放電を生じさせてレーザガスを励起し、レーザ光を発振させるパルス発振ガスレーザ装置において、高圧側の放電電極(15)を固定する絶縁性のカソードベース(36)上に沿面放電を防止するための絶縁性のヒダ部(42)を設け、ヒダ部(42)の凸部(43)と高圧側の放電電極(15)との間の溝部(52)内部に、主放電によって生じる衝撃波(41)を減衰させる減衰材(45)を挿入したことを特徴とする、パルス発振ガスレーザ装置。

請求項（抜粋）：

対向した一対の放電電極(14,15)間にパルス状の主放電を生じさせてレーザガスを励起し、レーザ光を発振させるパルス発振ガスレーザ装置において、高圧側の放電電極(15)を固定する絶縁性のカソードベース(36)上に沿面放電を防止するための絶縁性のヒダ部(42)を設け、ヒダ部(42)の凸部(43)と高圧側の放電電極(15)との間の溝部(52)内部に、主放電によって生じる衝撃波(41)を減衰させる減衰材(45)を挿入したことを特徴とする、パルス発振ガスレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/038 , H01S 3/036

FI (2件)：

H01S 3/03 B , H01S 3/03 J

Fターム (7件)：

5F071AA06 , 5F071CC01 , 5F071CC03 , 5F071CC10 , 5F071EE04 , 5F071FF01 , 5F071JJ05

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平4-328889
一体化プレ・イオナイザを有する小型エキシマレーザ絶縁体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-128976 出願人：サイマーインコーポレイテッド
コロナ予備電離電極を有するガスレーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-358988 出願人：株式会社ウシオ総合技術研究所

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