特許
J-GLOBAL ID：200903022357681021
ウエーハの分割装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-311317
公開番号（公開出願番号）：特開2006-128211
出願日： 2004年10月26日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】 分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられたウエーハを、分割予定ラインに沿って正確且つ確実に分割することができるウエーハの分割装置を提供する。【解決手段】 分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられているウエーハを分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割装置であって、ウエーハの一方の面に貼着した保護テープを保持するテープ保持手段と、テープ保持手段に保護テープを介して保持されたウエーハを分割予定ラインの両側において保護テープを介してそれぞれ吸引保持する保持面を備えた第1の吸引保持部材および第2の吸引保持部材と、第1の吸引保持部材と第2の吸引保持部材を離反する方向に移動せしめる移動手段とからなるウエーハ破断手段とを具備し、第1の吸引保持部材の保持面と第2の吸引保持部材の保持面は、互いに対向する側縁に向けてそれぞれ下方または上方に向けて傾斜して形成されている。【選択図】 図16
請求項（抜粋）：
分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられているウエーハを、分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割装置において、
ウエーハの一方の面に貼着した保護テープを保持するテープ保持手段と、
該テープ保持手段に該保護テープを介して保持されたウエーハを分割予定ラインの両側において保護テープを介してそれぞれ吸引保持する保持面を備えた第1の吸引保持部材および第2の吸引保持部材と、該第1の吸引保持部材と該第2の吸引保持部材を離反する方向に移動せしめる移動手段とからなるウエーハ破断手段とを具備し、
該第1の吸引保持部材の保持面と該第2の吸引保持部材の保持面は、互いに対向する側縁に向けてそれぞれ下方または上方に向けて傾斜して形成されている、
ことを特徴とするウエーハの分割装置。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L21/78 N
, H01L21/78 C
, H01L21/78 X
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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