特許
J-GLOBAL ID：200903022373045186
電離放射線照射用組成物及び電離放射線照射方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-246511
公開番号（公開出願番号）：特開平8-109351
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 工程が簡便で汎用性があり、チャージアップ防止効果に優れ、しかも露光から露光後ベークまでの引き置き時間に対する感度の安定化効果も有する電離放射線照射用組成物及び電離放射線照射方法を提供する。【構成】 式(1),(2)の繰り返し単位を有する重量平均分子量1万以上であり常温固体である可溶性アニリン系ポリマ0.01〜30重量部及び(b)溶媒100重量部を含む組成物を基板上に塗布し、電離放射線を照射する。(式中、R1〜R4は電子供与基を表し、Y1〜Y4は-SO3-又は-COO-を表し、M1〜M4は水素イオン、アンモニウムイオン、アルキルアンモニウムイオン(炭素数1〜8)、芳香族アンモニウムイオン、又は芳香族複素環の四級イオンを表わす。)
請求項（抜粋）：
(a)下記一般式(1)及び(2)で表わされる繰り返し単位を有する重量平均分子量1万以上であり常温固体である可溶性アニリン系ポリマ0.01〜30重量部及び(b)溶媒100重量部を含むことを特徴とする電離放射線照射用組成物。【化1】(式中、R1 〜R4 は電子供与基を表し、Y1 〜Y4 は-SO3 -又は-COO-を表し、M1 〜M4 は水素イオン、アンモニウムイオン、アルキルアンモニウムイオン(炭素数1〜8)、芳香族アンモニウムイオン、又は芳香族複素環の四級イオンを表わす。)
IPC (12件)：
C09D179/08 PLT
, C08G 73/00 NTB
, C08L 79/08 LQZ
, C09D 5/00
, G03F 7/004 501
, G03F 7/11 501
, G03F 7/20 504
, G03F 7/26 501
, G03F 7/26 511
, H01L 21/266
, H01L 21/027
, H01L 21/66
H01L 21/265 M
, H01L 21/30 502 C
, H01L 21/30 541 P
, H01L 21/30 541 U
, H01L 21/30 573
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (1件)
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