特許
J-GLOBAL ID：200903022379594106

表面検査装置および表面検査方法

発明者：
大森 健雄

大森 健雄 について

, 
広瀬 秀男

広瀬 秀男 について

, 
中島 康晴

中島 康晴 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-143318
公開番号（公開出願番号）：特開2006-343102
出願日： 2005年05月16日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：
【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。【解決手段】本発明の表面検査装置は、被検査基板を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段と、前記直線偏光の発散光束を該光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して前記被検査基板に導く光学部材と、前記検査基板からの光束のうち前記直線偏光とは偏光方向が直交する直線偏光を受光する受光手段と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置され、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する少なくとも1つの偏光補正部材と、を有し、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の検査を行う。【選択図】 図12
請求項（抜粋）：
被検査基板を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段と、 前記直線偏光の発散光束を該光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して前記被検査基板に導く光学部材と、 前記検査基板からの光束のうち前記直線偏光とは偏光方向が直交する直線偏光を受光する受光手段と、 前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置され、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する少なくとも1つの偏光補正部材と、を有し、 前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の検査を行うことを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  G01N21/88 H ,  H01L21/66 J
Fターム (56件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF49 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065HH03 ,  2F065HH09 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL19 ,  2F065LL22 ,  2F065LL24 ,  2F065LL32 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL35 ,  2F065LL59 ,  2F065PP11 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR09 ,  2F065UU01 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CC20 ,  2G051DA05 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB14 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ03
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-034707   出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (2件)

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