特許

J-GLOBAL ID：200903022405468254

感光性樹脂組成物、LCD基板及びそのパターン形成方法

発明者： ユン,ヒョクミン ,  キム,ビョンウク ,  チェ,サンガク ,  クー,キヒョク ,  ユン,ジューピョ ,  キム,ドンミン ,  ヨ,テフン ,  ジョン,ウイチョル ,  キム,ドンミョン ,  イ,ホジン
出願人/特許権者： ドンジン セミケム カンパニー リミテッド
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-010983
公開番号（公開出願番号）：特開2006-209113
出願日： 2006年01月19日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】 透過率、絶縁性、平坦性、耐化学性などの性能に優れるだけでなく、特に高耐熱特性を通した層間絶縁膜で発生されるガス抜けを最少化させて、後工程の信頼性を確保することによってLCD製造工程の層間絶縁膜として使用するのに適した感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明による感光性樹脂組成物は、a)i)フェニルマレイミド系化合物、ii)不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物、またはこれらの混合物、およびiii)エポキシ基含有不飽和化合物を共重合させて得られたアクリル系共重合体;b)1,2-キノンジアジド化合物;およびc)溶媒を含む。

請求項（抜粋）：

a)i)下記式(1)

IPC (5件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 ,  G02F 1/136 ,  G02F 1/133

FI (5件)：

G03F7/023 511 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 503 ,  G02F1/1368 ,  G02F1/1333 505

Fターム (34件)：

2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BD23 ,  2H025BE01 ,  2H025CA00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB11 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H090HA02 ,  2H090HB07X ,  2H090HC05 ,  2H090HC12 ,  2H090HD03 ,  2H090HD05 ,  2H090LA04 ,  2H092JA24 ,  2H092JB56 ,  2H092KB25 ,  2H092MA10 ,  2H092MA17 ,  2H092NA18 ,  2H092NA27

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-283291   出願人：JSR株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成への使用、ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-174948   出願人：ジェイエスアール株式会社