特許
J-GLOBAL ID：200903015079450149
感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-283291
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049720
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような現像マージンを有し、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性組成物、電子部品の層間絶縁膜およびマイクロレンズの提供。 【解決手段】 [A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、(a3)水酸基またはカルボキシル基を含有するマレイミド系モノマー、および(a4)(a1)、(a2)および(a3)以外の不飽和化合物の共重合体、ならびに [B]1,2-ナフトキノンジアジド化合物、を含有する感放射線性組成物。それから製造された層間絶縁膜およびマイクロレンズ。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、
(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、
(a3)水酸基またはカルボキシル基を含有するマレイミド系モノマー、および
(a4)(a1)、(a2)および(a3)以外の不飽和化合物の共重合体、ならびに
[B]1,2-キノンジアジド化合物
を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F7/033
, C08F222/40
, G02B1/04
, G02B3/00
, G03F7/022
, G03F7/40
, H01L21/027
G03F7/033
, C08F222/40
, G02B1/04
, G02B3/00 A
, G03F7/022
, G03F7/40 501
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB53
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H096AA25
, 2H096AA26
, 2H096AA27
, 2H096AA28
, 2H096BA10
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H096JA04
, 4J100AM47P
, 4J100BA03P
, 4J100BA16P
, 4J100BC04P
, 4J100BC43P
, 4J100CA06
, 4J100JA38
