特許
J-GLOBAL ID：200903022417090745
インクジェットヘッド用基体およびこれを用いるインクジェットヘッドとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-413499
公開番号（公開出願番号）：特開2004-216876
出願日： 2003年12月11日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】 Ta膜による保護層と同様の吐出性能を有したまま、耐キャビテーション性、耐食性に優れ、高耐久性を可能とする保護層を得る。【解決手段】 発熱部108を形成する発熱抵抗体と、発熱抵抗体の上方に設けた絶縁保護層106と、絶縁保護層の上方にドライエッチングによりパターニングされて形成され、インクと接触する接触面を有する上部保護層107とを有し、上部保護層が、TaとCrからなるアモルファス合金で形成されており、Ta含有量がCr含有量より多い。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
インクジェットヘッドに用いられるインクジェットヘッド用基体において、
インク吐出口からインクを吐出するための熱エネルギーを発生させる発熱抵抗体と、
前記発熱抵抗体の上方に設けられた絶縁保護層と、
前記絶縁保護層の上方にドライエッチングによりパターニングされて形成され、インクと接触する接触面を有する上部保護層と、
を有し、前記上部保護層は、TaとCrからなるアモルファス合金で形成されており、Ta含有量がCr含有量より多いことを特徴とするインクジェットヘッド用基体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J3/04 103B
, B41J3/04 103H
2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AP32
, 2C057AP53
, 2C057BA13
