特許
J-GLOBAL ID：200903022451052763
基体の表面処理方法及びそれに用いる有機錯化剤含有アンモニア水溶液
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-167183
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012584
出願日： 1996年06月27日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 基体表面への金属不純物の汚染を長時間にわたって防止し、安定的に極めて清浄な基体表面を達成する事ができる基体の表面処理方法を提供する。【解決手段】 液媒体中に、アンモニア、水、並びに、分子構造中に環状骨格を有し、且つ該環を構成する炭素原子に結合したOH基及び/またはO-基を1つ以上有する有機錯化剤を含有するアルカリ性表面処理組成物を用いて基体の表面処理を行う際に、蒸発したアンモニア分を当該有機錯化剤を含有するアンモニア水溶液で補う基体の表面処理方法。
請求項（抜粋）：
液媒体中に、アンモニア、水、並びに、分子構造中に環状骨格を有し、且つ該環を構成する炭素原子に結合したOH基及び/またはO-基を1つ以上有する有機錯化剤を含有するアルカリ性表面処理組成物を用いて基体の表面処理を行う際に、蒸発したアンモニア分を当該有機錯化剤を含有するアンモニア水溶液で補うことを特徴とする基体の表面処理方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, C09K 3/00 108
, C11D 7/32
H01L 21/304 341 S
, H01L 21/304 341 L
, C09K 3/00 108 C
, C11D 7/32
