特許
J-GLOBAL ID：200903022551309311

組成物、物品、その製造および使用

発明者：
ベネット、 ピーター アンドリュー レス

ベネット、 ピーター アンドリュー レス について

, 
アッレグリーニ、 ロベルト マッシモ

アッレグリーニ、 ロベルト マッシモ について


出願人/特許権者：
ハイデルベルク アジア プロキュアメント センター センディリアン、 ベラハッド

ハイデルベルク アジア プロキュアメント センター センディリアン、 ベラハッド について


代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  緒方 雅昭
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-517419
公開番号（公開出願番号）：特表2009-543105
出願日： 2007年07月02日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
赤外線による画像形成可能なリソグラフ前駆体用のコーティングとして適しており、a)800nmを超える波長の赤外線を吸収し、その結果熱を発生し、b)現像剤中でコーティングの非画像部分の溶解を阻害するが、現像中の画像部分の溶解は可能とする不溶化剤として機能し、およびc)非画像部分/画像部分の溶解コントラスト比(DCR)を改善するように、非画像部分の溶解の阻害および/または画像部分の溶解を改善する、1つまたは複数の薬剤を含み、機能c)を果たす薬剤が疎水性およびイオン性を有する部分を含む、ヒドロキシル基を含むポリマーを含む組成物。そのような組成物は、画像部分と非画像部分との間で、現像剤中の溶解速度に関して優れた選択性を示すことができるが、この差異(または「操作スピード」)を得るのに必要なエネルギーは犠牲にされない。
請求項（抜粋）：
赤外線による画像形成可能なリソグラフ前駆体用のコーティングとして適しており、 a)800nmを超える波長の赤外線を吸収し、その結果熱を発生し、 b)現像剤中でコーティングの非画像部分の溶解を阻害するが、現像中の画像部分の溶解は可能とする不溶化剤として機能し、および c)非画像部分/画像部分の溶解コントラスト比(DCR)を改善するように、非画像部分の溶解の阻害および/または画像部分の溶解を改善する 1つまたは複数の薬剤を含み、 機能c)を果たす薬剤が疎水性およびイオン性を有する部分を含む、 ヒドロキシル基を含むポリマーを含む組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/00 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/004 ,  C07C 309/06 ,  C07F 9/54 ,  C09B 11/00
FI (7件)：
G03F7/00 503 ,  G03F7/32 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/004 501 ,  C07C309/06 ,  C07F9/54 ,  C09B11/00 G
Fターム (29件)：
2H096AA06 ,  2H096BA11 ,  2H096EA04 ,  2H096GA09 ,  2H096GA11 ,  2H125AM80P ,  2H125AN38P ,  2H125AN47P ,  2H125AN66P ,  2H125AN78P ,  2H125AN79P ,  2H125AN92P ,  2H125BA01P ,  2H125BA12P ,  2H125BA27P ,  2H125CA04 ,  2H125CB01 ,  2H125CC03 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H049VN06 ,  4H049VP01 ,  4H050AA03 ,  4H050AB76 ,  4H056BA02 ,  4H056BB01 ,  4H056BC01 ,  4H056BD01 ,  4H056BF26F
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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