特許
J-GLOBAL ID：200903022560423798
有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造装置および製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161647
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353593
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：
【要約】【課題】 特に長寿命で、発光特性の良好な有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルを作製する製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 基板8を紫外線照射処理するための洗浄室1と、処理された基板上に薄膜を形成するための真空成膜室と、該洗浄室1と該真空成膜室とを接続するための真空中間室2とを少なくとも有する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造装置において、前記洗浄室1が真空排気系5と、紫外線照射系6と、基板支持機構4と、ガス供給系7とを少なくとも有し、かつ、各室間に設けられた開閉可能なバルブを経由して各室間で相互に基板8を搬送する基板搬送系10を有する。
請求項（抜粋）：
基板を紫外線照射処理するための洗浄室と、処理された基板上に薄膜を形成するための真空成膜室と、該洗浄室と該真空成膜室とを接続するための真空中間室とを少なくとも有する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造装置において、前記洗浄室が真空排気系と、紫外線照射系と、基板支持機構と、ガス供給系とを少なくとも有し、かつ、各室間に設けられた開閉可能なバルブを経由して各室間で相互に基板を搬送する基板搬送系を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
3K007AB11
, 3K007AB18
, 3K007CA01
, 3K007CB01
, 3K007DA01
, 3K007DB03
, 3K007EB00
, 3K007FA01
