特許
J-GLOBAL ID：200903022568249460
ウェーハ欠陥検査および特性分析の方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338643
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053118
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 検査ツールおよび特性分析ツールの2座標系の座標変換行列を用いて、正確に2座標系間でのウェーハ欠陥の座標位置を転送し、特性分析ツールを用いて、欠陥位置にまで正確に駆動して欠陥特性を分析できる、ウェーハ欠陥検査および特性分析の方法を提供する。【解決手段】 ウェーハにおける標準製造プロセスを行なう前に、先ず、ウェーハを定位および位置合わせするためのアライメントマークを形成してから、アライメントマークを用いて、検査ツールの座標系統および特性分析ツールの座標系統の座標データから、2座標系統の座標変換行列を得る。
請求項（抜粋）：
ウェーハ段階で自動的に欠陥位置へ定位して欠陥特性を分析するものであって、ウェーハが標準的な集積回路製造プロセスを行う前に、前記ウェーハの周辺付近にある複数個の位置に複数個のウェーハ定位用のアライメントマークを形成するステップと、前記ウェーハが標準的な集積回路製造プロセスを行った後に、前記アライメントマークにつき、検査ツールの座標系統ならびに特性分析ツールの座標系統の座標データを、簡単な代数演算を用いて、前記検査ツールの座標系統から前記特性分析ツールの座標系統への座標変換行列を求めるステップと、前記座標変換行列を基準として変換し、前記検査ツールにより得られる前記ウェーハのある欠陥の座標を、前記検査ツールの座標系統から前記特性分析ツールの座標系統へ変換するものであって、この方式により前記特性分析ツールが正確に前記欠陥位置まで駆動されて前記欠陥特性の分析を実現するステップとを具備するウェーハ欠陥検査および分析の方法。
Fターム (4件)：
4M106AA01
, 4M106CA38
, 4M106CA50
, 4M106DA15
