静電チャック

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305354
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148419
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】ウェハ10を保持する静電チャックにおいて、電荷の残留による吸着力があっても、保持台5の保持面からウェハ10を安定して離脱させる。【解決手段】ウェハ10の周辺部に保持台5から離脱させるための複数の離脱用ピン1を配置し、ウェハ10の弾性変形範囲内で離脱用ピン1をステップ状にウェハを突き上げる離脱駆動機構2と、これらの離脱駆動機構2を任意に選択し作動させる制御装置3を設け、ウェハ10の周辺部を均等に僅かづつ突き上げて保持台5から離脱させる。

請求項（抜粋）：

静電気で半導体基板を吸着保持する保持台と、前記半導体基板を突き上げたり下降したりする複数のリフトピンとを備える静電チャックにおいて、前記半導体基板の周辺部を突き上げるように該半導体基板の周辺部に対応する前記保持台に配置される複数の離脱用ピンと、前記半導体基板の弾性変形許容範囲内で前記離脱用ピンをステップ状に突き上げる離脱駆動機構と、この離脱駆動機構のそれぞれを選択し作動させる制御装置とを備えることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , C23F 4/00 , H01L 21/3065

FI (4件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , C23F 4/00 A , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

微動位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-240088 出願人：キヤノン株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-351848 出願人：株式会社東芝
特開平4-206546

全件表示

前のページに戻る