特許

J-GLOBAL ID：200903022612141168

機能性膜の製造方法

発明者： 乗富 康子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 特許業務法人 天城国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-274113
公開番号（公開出願番号）：特開2009-103518
出願日： 2007年10月22日
公開日（公表日）： 2009年05月14日
要約：

【課題】所望の膜厚及び所望の膜面積を有する機能性膜を成膜することができる機能性膜の製造方法を提供する。【解決手段】基板1上に配置された高分子マトリックス層2に、機能性物質及び高分子マトリックス層2を溶解又は膨張させる溶媒を含む機能性膜剤4を供給する第1工程と、この機能性膜剤4を高分子マトリックス層2中に拡散することによってこの高分子マトリックス層2に機能性物質を分散させる第2工程と、この第2工程においてこの機能性物質が分散した高分子マトリックス層2を固めて機能性膜7を形成させる第3工程とを具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に配置された高分子マトリックス層に、機能性物質及び前記高分子マトリックス層を溶解または膨張させる溶媒を含む機能性膜剤を供給する第1工程と、 この機能性膜剤を前記高分子マトリックス層中に拡散することによってこの高分子マトリックス層に前記機能性物質を分散させる第2工程と、 この第2工程においてこの機能性物質が分散した高分子マトリックス層を固めて機能性膜を形成させる第3工程と、 を具備することを特徴とする機能性膜の製造方法。

IPC (4件)：

G01N 27/333 ,  B05D 7/00 ,  G01N 27/414 ,  G01N 5/02

FI (6件)：

G01N27/30 331E ,  B05D7/00 H ,  G01N27/30 301G ,  G01N27/30 301V ,  G01N27/30 301R ,  G01N5/02 A

Fターム (25件)：

4D075AC84 ,  4D075BB12Z ,  4D075BB21Z ,  4D075BB24Z ,  4D075BB29Z ,  4D075BB41Z ,  4D075BB81Z ,  4D075CA22 ,  4D075DA06 ,  4D075DA25 ,  4D075DB01 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB20 ,  4D075DB31 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EB07 ,  4D075EB14 ,  4D075EB15 ,  4D075EB19 ,  4D075EB35 ,  4D075EB38 ,  4D075EB39 ,  4D075EB43

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 半導体センシングデバイスおよびその製造方法と、該デバイスを有してなるセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-278203   出願人：学校法人早稲田大学
• イオン感応性電界効果型トランジスタ用イオン感応膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-060530   出願人：三菱電線工業株式会社
• 化学センサ用感応膜作製方法及び化学センサプローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-299279   出願人：日本電信電話株式会社