特許
J-GLOBAL ID：200903022644416614

位相制御多電極型交流放電装置における壁密着型電極

発明者：
松本 和憲

松本 和憲 について


出願人/特許権者：
株式会社東北ユニコム

株式会社東北ユニコム について


代理人 (1件)： 牧 哲郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-301263
公開番号（公開出願番号）：特開平10-130836
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：
【要約】【課題】壁密着型電極の形状と配置を工夫することにより、電極間間隙に露出する絶縁シートをスパッタ粒子などの付着から保護する。【解決手段】6片の断面円弧形分割電極2を僅かな間隙2aを設けて同心円上に配列し、絶縁シート3を介して円筒状の真空容器4の内壁に密着して固定する。分割電極2の側面を傾斜させて間隙2aに露出する絶縁シート3が直接放電領域に対面しないようにする。
請求項（抜粋）：
放電室内壁に複数の電極片を薄膜状の絶縁シートを介して密着して固定し、各々の電極片に位相制御多出力交流電源を供給してなる位相制御多電極型交流放電装置において、前記電極片の側面に凹凸を形成し、隣り合う電極片どうしが非接触で且つ重なり合うようにこれらの凹凸を組み合わせ、しかして前記電極片間の間隙に露出する前記絶縁シートを前記電極片により覆うことを特徴とする壁密着型電極。
IPC (3件)：
C23C 14/35 ,  H05H 1/34 ,  H01L 21/205
FI (3件)：
C23C 14/35 Z ,  H05H 1/34 ,  H01L 21/205
引用特許：
出願人引用 (4件)
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