特許
J-GLOBAL ID：200903074769877788
壁密着型電極を使用した位相制御多電極型交流放電装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
牧 哲郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-295675
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125495
出願日： 1996年10月17日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】放電電極を複数の電極片に分割して位相制御多出力交流電圧を印加する位相制御多電極型交流放電電極の形状と配置を工夫することにより、電極の冷却効率を高め、放電面積を大きくし、磁石の利用を容易にする。【解決手段】6片の断面円弧形分割電極2を縦方向に僅かな間隙2aを空けて円周状に配列し、絶縁シート3を介して円筒状の真空容器4の内壁に密着して固定する。真空容器4は水冷式二重管を形成し、冷却水5を流して真空容器4の内壁に密着する6片の分割電極2を冷却する。真空容器4の外壁には、隣り合う極性を逆にして配列した6本の棒状磁石6を、間隙2aに沿って密着して固定し、さらにその外周を円筒状の磁気シールド管7で覆う。
請求項（抜粋）：
放電室の内壁に複数の電極片を薄膜状の絶縁体を介して密着して固定し、前記電極片を冷却する冷却手段と、前記電極片表面に多極磁場を形成して放電を閉じ込める多極磁場形成手段と、を前記放電室の外周に設け、しかして各々の前記電極片に位相制御多出力交流電源を供給してなる位相制御多電極型交流放電装置。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23C 14/35
, H01L 21/203
, H01L 21/205
H05H 1/46 A
, C23C 14/35 Z
, H01L 21/203 S
, H01L 21/205
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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