特許
J-GLOBAL ID：200903022708598436

ダイシングテープ貼付装置およびダイシングテープ貼付方法

発明者：
雨谷 稔

雨谷 稔 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  廣瀬 繁樹 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-340145
公開番号（公開出願番号）：特開2007-149830
出願日： 2005年11月25日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：
【課題】ウェーハに割れまたはクラックおよび内部歪みが生じるのを防止する。【解決手段】ダイシングテープ貼付装置(10)が、マウントフレーム(36)を支持する固定テーブル(38)と、裏面が研削されているウェーハ(20)を支持する可動テーブル(31)と、可動テーブルの高さを調節する高さ調節手段(70)、例えばネジジャッキとを具備する。ダイシングテープ(3)をマウントフレームおよびウェーハに貼付けるときに、高さ調節手段、例えばネジジャッキは可動テーブルに支持されたウェーハのダイシングテープ貼付面の高さを固定テーブルに支持されたマウントフレームの上面の高さに一致させるようにする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ダイシングテープをマウントフレームとウェーハとに貼付けるダイシングテープ貼付装置において、 前記マウントフレームを支持する固定テーブルと、 前記ウェーハを支持する可動テーブルと、 前記可動テーブルの高さを調節する高さ調節手段と、 前記ウェーハの前記ダイシングテープ貼付面に対して平行に移動して前記ダイシングテープを前記マウントフレームと前記ウェーハとに貼付けるダイシングテープ貼付手段と、を具備し、 前記ダイシングテープを前記マウントフレームおよび前記ウェーハに貼付けるときに、前記高さ調節手段は前記可動テーブルに支持された前記ウェーハのダイシングテープ貼付面の高さを前記固定テーブルに支持されたマウントフレームの上面の高さに一致させるようにしたダイシングテープ貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 M
引用特許：
審査官引用 (4件)
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