特許
J-GLOBAL ID：200903022723829517

プローブユニット

発明者：
中村 紀之

中村 紀之 について

, 
赤平 明久

赤平 明久 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-346937
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166622
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【目的】 プローブブロックに設けた弾性部材で細線のコンタクト部を支持して、電極パッドの高さ方向のバラツキを吸収する。また、この弾性部材と、プローブブロックとホルダーの間に配置したバネ部材との働きにより、コンタクト時の接触圧を適正に維持する。さらに、プローブブロックに細線観察用の貫通孔を設けて、細線と電極パッドとの位置合わせを容易にする。【構成】 プローブブロック10はシャフト20で回転可能に支持され、その前端が圧縮コイルバネ22で下方に押されている。金属製の細線34が接着剤36、38、40、42でプローブブロック10に固着されている。底面28と前面30が接する角部には弾性部材44が接着固定されて、一部が露出している。この露出部分に細線34が接触して、コンタクト部となっている。貫通孔50を通して、細線34と電極パッドとの位置合わせ状態を観察できる。
請求項（抜粋）：
次の(イ)〜(ヘ)の構成を備えるプローブユニット。(イ)角部で互いに接する底面と前面とを備えていて、少なくともこれらの底面と前面が電気絶縁材料で構成されているプローブブロック。(ロ)前記角部に露出するように設けられている電気絶縁性の弾性部材。(ハ)前記弾性部材の表面に接触した状態で前記底面から前記前面にわたって延びていて、互いに平行に配列された状態で前記底面と前面に固着された多数の導電性の細線。(ニ)前記プローブブロックを、被検査体の表面に平行な回転軸線の回りに回転可能に支持するホルダー。(ホ)前記プローブブロックと前記ホルダーの間に配置されて、前記弾性部材をホルダーから離す方向にプローブブロックに一定の予圧を付与するバネ部材。(ヘ)前記底面に開口するように前記プローブブロックに形成された貫通孔であって、前記底面上の複数の細線をこの貫通孔を通して観察できるようにした貫通孔。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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