特許
J-GLOBAL ID:200903022773012848
コロナ発生装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小柴 雅昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-017221
公開番号(公開出願番号):特開平9-213452
出願日: 1996年02月02日
公開日(公表日): 1997年08月15日
要約:
【要約】【課題】 エキシマレーザのようなレーザ装置において、レーザ光を効率良く発生させるためには、予備電離を十分に行ない、大きな電子数密度を得るようにされなければならないが、このことをコロナ方式により行なうとき、予備電離効果が低く、電子数密度が低いという問題がある。【解決手段】 予備電離効果を高め、生成される電子数密度を高めるため、誘電体セラミック基材12の対向する各面に形成される電極のうち、一方の電極を針状電極14とし、誘電体セラミック基材12に実質的に点接触するようにする。
請求項(抜粋):
誘電体セラミック基材、および前記誘電体セラミック基材を挟んで対向するように設けられた電極とを備える、コロナ発生装置において、一方の前記電極は、前記誘電体セラミック基材に対して実質的に点接触するようにされたことを特徴とする、コロナ発生装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01T 19/04
, H01S 3/097 E
引用特許: