特許
J-GLOBAL ID：200903022802019954
単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-283030
公開番号（公開出願番号）：特開平8-143390
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【構成】 黒鉛ルツボ10内表面の少なくとも上部の表面粗さRmaxが30μm以上である単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ。【効果】 黒鉛ルツボ10と石英ルツボ16との嵌合面にSi等の半導体原料溶融液が侵入しても、両ルツボの固着を抑制することができ、黒鉛ルツボ10の破損を防止することができる。
請求項（抜粋）：
黒鉛ルツボ内表面の少なくとも上部の表面粗さRmaxが30μm以上であることを特徴とする単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ。
IPC (3件)：
C30B 15/10
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
