特許
J-GLOBAL ID：200903022824783208
赤外センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-314212
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146702
出願日： 1998年11月05日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】静電容量式赤外センサの製造後の熱応力によってバイメタル構造の検出電極に初期状態から反りが生じても、高感度かつ高い応答性を有する赤外センサを提供する。【解決手段】熱応力によって反ったバイメタル構造の検出電極2の形状に合わせて、対向する参照電極3を反らせる。又は検出電極2の初期の反りの方向を参照電極3側として、参照電極3に傾斜や段差を設ける。又は検出電極2をバイメタル構造により両持ち梁として湾曲しにくい構造とする。又は検出電極2と参照電極3をくし歯構造とし、赤外光吸収による熱膨張で検出電極2に回転モーメントを生じさせる。又は、検出電極と参照電極の静電容量が目標値になるようサーボをかける。静電容量取り付け基板に放熱フィンを設けて熱容量を小さくする。
請求項（抜粋）：
静電容量を構成する電極を備え、このうち、一方の電極(以下、検出電極とする)は、被検出対象の赤外光を吸収して熱膨張する赤外吸収構造によって変位するよう設定され、該検出電極に対向するもう一方の電極(以下、参照電極とする)は、周囲温度の変化による前記検出電極の変位を補償する方向に変位可能な温度補償構造を有していることを特徴とする赤外センサ。
IPC (3件)：
G01J 5/40
, G01J 5/10
, H01L 27/14
G01J 5/40
, G01J 5/10 B
, H01L 27/14 K
2G066BA20
, 2G066BA30
, 2G066BA51
, 2G066BA55
, 2G066BA57
, 2G066BB11
, 2G066CB01
, 4M118AA01
, 4M118AA10
, 4M118AB10
, 4M118BA06
, 4M118CA35
, 4M118CB20
, 4M118EA01
, 4M118GA10
, 4M118HA02
, 4M118HA36
