単結晶引上装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-287370
公開番号（公開出願番号）：特開2000-095597
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】ルツボ駆動モータが磁場の悪影響を受けることのない単結晶引上装置を提供する。【解決手段】磁場発生源から磁場を発生させ、その磁場をルツボ内の融液に印加し、ルツボをルツボ駆動モータで駆動しつつ単結晶を引き上げる構成の単結晶引上装置において、ルツボ駆動モータが磁場強度500ガウス以下の領域に配置されることを特徴とする単結晶引上装置。

請求項（抜粋）：

磁場発生源(1、101)から磁場を発生させ、その磁場をルツボ(2)内の融液に印加し、ルツボ(2)をルツボ駆動モータ(15、28)で駆動しつつ単結晶を引き上げる構成の単結晶引上装置において、ルツボ駆動モータ(15、28)が磁場発生源(1、101)から遠く離れて磁場の影響を受けない領域に配置されていることを特徴とする単結晶引上装置。

IPC (3件)：

C30B 29/06 502 , C30B 15/00 , C30B 30/04

FI (3件)：

C30B 29/06 502 G , C30B 15/00 Z , C30B 30/04

Fターム (9件)：

4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG01 , 4G077EG14 , 4G077EJ02 , 4G077PA08 , 4G077PF42 , 4G077PG03

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭64-033093
超電導マグネット冷却システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-337087 出願人：住友電気工業株式会社
特開平3-228895

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