ウエーハ洗浄用のスピンチャックテーブル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綾田正道 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-174194
公開番号（公開出願番号）：特開2002-367946
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウエーハを一葉ずつ気中で両面同時洗浄でき、バンピングされたウエーハでも短時間で良好に行なえるようにした技術を提供する。【解決手段】狭小な載置面にウエーハ11aを水平に預かるサポート30を立設し回転軸22上部に固定されたテーブル本体21と、ウエーハの周囲の複数カ所でその厚み面に対向するようにテーブル本体に開閉自在に配置されそれぞれ閉じ方向でウエーハの厚み面を押圧して挟持する開閉アーム23と、複数の開閉アームの開閉動作を同時に行なわせるため回転軸の軸心に沿って昇降自在な昇降軸28と、昇降軸に固定された昇降板29に軸支され昇降軸の上昇時に開閉アームを押上げ閉じ動作を行なわせる駆動ローラ27と、開閉アームを開き方向へ付勢するバネ31とを備え、ウエーハをノズル35と36の間に配置させる構成。

請求項（抜粋）：

ウエーハを気中で水平に保持しスピン状態にして該ウエーハの表面または/および裏面をそれぞれノズルで洗浄するウエーハ洗浄用のスピンチャックテーブルであって、回転軸上部に固定されたテーブル本体と、前記テーブル本体の上面に立設され狭小な載置面に前記ウエーハを水平に預かるサポートと、前記ウエーハの周囲の複数カ所で該ウエーハの厚み面に対向するように前記テーブル本体にアームが開閉自在に配置され該アームがそれぞれ閉じ方向で前記ウエーハの厚み面を押圧して挟持する開閉アームと、前記複数の開閉アームの開閉動作を同時に行なわせる開閉駆動手段と、を備えたことを特徴とするウエーハ洗浄用のスピンチャックテーブル。

引用特許：

審査官引用 (5件)

回転処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-025833 出願人：東京エレクトロン株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-301973 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平2-278713

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