特許

J-GLOBAL ID：200903022910812962

エバネッセント波検出用の微小探針とその製造方法、及び該微小探針を備えたプローブとその製造方法、並びに該微小探針を備えたエバネッセント波検出装置、近視野走査光学顕微鏡、情報再生装置

発明者： 八木 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-015823
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197542
出願日： 1997年01月13日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】光検出部を構成した微小探針によりSN比の向上を図り、優れた分解能を発揮できるエバネッセント波検出用の微小探針と該製造方法、及び該微小探針を備えたプローブとその製造方法および簡略化可能なエバネッセント波検出装置、近視野走査光学顕微鏡、情報再生装置を提供する。【解決手段】微小探針20は、エバネッセント波検出用の微小探針であって、該微小探針は光導電材料からなり、該両端が基板上に形成された電極を介して該基板に接続し微小探針またはプローブの製造方法はエバネッセント波検出用の微小探針またはプローブの製造方法であり一方の基板である第1基板の剥離層上に光導電材料からなる光導電材料層を形成し、他方の基板である第2基板上に形成された接合層へ、剥離層上の光導電材料層を転写して微小探針を製造する。

請求項（抜粋）：

エバネッセント波検出用の微小探針であって、該微小探針は光導電材料からなり、該微小探針の両端が基板上に形成された電極を介して該基板に接続されていることを特徴とするエバネッセント波検出用の微小探針。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 ,  G11B 7/135

FI (3件)：

G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 Z ,  G11B 7/135 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 微小探針の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-105135   出願人：キヤノン株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332323   出願人：株式会社ニコン