特許
J-GLOBAL ID：200903022941124959
プローバ装置及び半導体デバイスの検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小林 和憲
, 飯嶋 茂
, 小林 英了
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-279746
公開番号（公開出願番号）：特開2007-095766
出願日： 2005年09月27日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】異物の付着や傷などが付いた半導体デバイスを不良品として判定し、検査工程を効率良く行なう。【解決手段】プローバ装置10は、プローブカード20、プローブカード20が装着されるテストヘッド21、外観検査用カメラ22,23、半導体ウェハ12を保持するウェハチャック24、ウェハチャック24を移動させる移動機構25、判定回路26、コントローラ30とを備える。半導体ウェハ12には、多数の半導体デバイス11が設けられている。判定回路26は、カメラ22,23で撮像した半導体デバイス11の画像データから外観状態が良品又は不良品かの判定を行なう。外観状態が良品と判定されたとき、コントローラ30は、テストヘッド21を駆動してプローブカード20から半導体デバイス11へ電気信号を授受して電気的特性検査を行い、外観状態の判定で不良品と判定されたときには、電気的特性検査を行なわない。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体デバイスに設けられた被検査用パッドに接触させて前記半導体デバイスと電気的な導通を行なう検査用プローブ針と、この検査用プローブ針及び前記入出力パッドを介して前記半導体デバイスと電気信号の授受を行なうことにより半導体デバイスの電気的特性を検査するテストヘッドと、このテストヘッドによる電気的特性検査に基づいて半導体デバイスの良品又は不良品の判定を行なう電気的特性判定手段とを備えたプローバ装置において、
前記半導体デバイスの表面を撮像する撮像装置と、この撮像装置によって撮像された画像データから前記半導体デバイスの外観状態が良品又は不良品かの判定を行なう外観判定手段と、この外観判定手段により外観状態が良品と判定された半導体デバイスは前記電気的特性検査を行い、外観状態が不良品と判定された半導体デバイスは前記電気的特性検査を行なわないように制御する制御手段とを備えたことを特徴とするプローバ装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/66 J
, H01L21/66 B
, G01R31/26 J
2G003AA10
, 2G003AG03
, 2G003AG04
, 2G003AH02
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106CA38
, 4M106CA41
, 4M106DA07
, 4M106DB04
, 4M106DB19
, 4M106DD10
, 4M106DJ04
, 4M106DJ05
, 4M106DJ11
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
, 4M106DJ38
