特許

J-GLOBAL ID：200903023055630505

光検出装置及びその製造方法

発明者： 大澤 勝市 ,  老邑 克彦 ,  薄窪 秀昭
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057209
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335712
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【課題】 様々な増幅器が使用可能であり回路規模の小さい光検出装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 第1の受光部PD1 は、P型半導体基板3に形成したN型の第1の不純物領域4とN型の第1の不純物領域4の表面に形成したP型の第2の不純物領域5とからなり、第2の受光部PD2 は、P型半導体基板3とこれに形成したN型の第3の不純物領域6とからなる。第1の受光部PD1 と第2の受光部PD2 とを配線9によって直列接続しているので、増幅手段8としてバイポーラトランジスタ等を用いて回路規模を小さくできる。また、第1,第2の受光部PD1 ,PD2 には各々逆バイアスが印加されるので光感度が高くなる。また、第1,2受光部PD1 ,PD2 の面積比によって、検出する光の波長帯域を設定することができる。

請求項（抜粋）：

第1導電型の半導体基板上に形成された第2導電型の第1の不純物領域と、該第1の不純物領域上に形成された第1導電型の第2の不純物領域とからなる第1の受光部と、前記第1導電型の半導体基板と、該半導体基板上に形成された第2導電型の第3の不純物領域とからなり、前記第1の受光部と異なる光検出特性を有し、前記第1の受光部と直列に接続された第2の受光部と、前記第1の受光部と前記第2の受光部との接続部から前記第1及び第2の受光部に発生した光電流の差電流を入力して増幅する増幅手段とを備えたことを特徴とする光検出装置。

IPC (4件)：

H01L 31/10 ,  H01L 27/14 ,  H01L 21/331 ,  H01L 29/73

FI (4件)：

H01L 31/10 A ,  H01L 27/14 Z ,  H01L 29/72 ,  H01L 31/10 G

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 特開平2-291182
  
• 特開昭63-133128
  
• 受光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-243391   出願人：沖電気工業株式会社
• 特開昭55-022871
  
• 特開昭63-254736
  
• 半導体受光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-237261   出願人：日本ビクター株式会社
• 特開昭63-088871
  
• 特開平2-156575
  
• 光電変換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-277502   出願人：シヤープ株式会社