特許

J-GLOBAL ID：200903023124375474

ペロブスカイト型酸化物膜およびその製造方法

発明者： 河野 孝史 ,  木村 隆幸 ,  橋本 和生
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-168116
公開番号（公開出願番号）：特開平9-315857
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】 水熱合成により、均一で結晶性に優れたペロブスカイト型酸化物膜を種々のペロブスカイト型酸化物基板上に直接形成する。【解決手段】 水熱合成法によりペロブスカイト型酸化物基板上にペロブスカイト型酸化物膜を形成するペロブスカイト型酸化物膜の製造方法、およびその製造方法により得られるペロブスカイト型酸化物膜である。

請求項（抜粋）：

水熱合成法によりペロブスカイト型酸化物基板上にペロブスカイト型酸化物膜を形成することを特徴とするペロブスカイト型酸化物膜の製造方法。

IPC (7件)：

C04B 35/46 ,  C30B 29/32 ,  H01B 3/00 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 37/02 ,  H01L 41/24

FI (6件)：

C04B 35/46 H ,  C30B 29/32 A ,  H01B 3/00 F ,  H01L 37/02 ,  H01L 27/04 C ,  H01L 41/22 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ジルコン酸鉛膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-334104   出願人：株式会社村田製作所
• 焦電体素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-271263   出願人：宇部興産株式会社
• パターン化された複合酸化物膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-313085   出願人：三田工業株式会社
• 複合酸化物薄膜の製造方法及びその方法で得られる複合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-084896   出願人：東海ゴム工業株式会社