湿度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：榎本一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-091555
公開番号（公開出願番号）：特開2008-249511
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：

【課題】水晶振動子等の固有振動数の変化や共振周波数の変化等を利用した湿度センサに関し、湿度を高感度で検知することができ、またカチオン性高分子とアニオン性高分子の静電気力により有機分子の集合化及び組織化が行われているので、製膜時間が短く、かつ、膜の強度が高く耐久性に優れ、また簡単な操作で製膜して製造できるので、大型の反応器等の装置が不要で、さらに材料を分子レベルで制御するのも容易で品質の安定性に優れるとともに生産性に優れる湿度センサを提供することを目的とする。【解決手段】本発明の湿度センサは、基板2と、カチオン性高分子膜4とアニオン性高分子膜5が1乃至複数回交互に積層され基板2に形成された交互積層部6と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：