両面研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-376719
公開番号（公開出願番号）：特開2003-175456
出願日： 2001年12月11日
公開日（公表日）： 2003年06月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】研磨終了後に研磨を施したワークを、搬出位置に停止したキャリアから搬送装置で迅速に取り出すことのできる両面研磨装置を提供する。【解決手段】独立して回転する下定盤12と上定盤30との中央部近傍に設けた太陽ギア16と、下定盤及び上定盤の外周縁から離れて設けたインターナルギア18と、外周縁に形成された歯が前記ギアに歯合して回転する板状のキャリア14に形成された透孔に、ワークを搬入及び搬出する搬送装置とが設けられた両面研磨装置において、はみ出し部分Aに透孔の位置を示す位置決め孔19が存在するように、位置決め孔が外周縁に沿って間欠的に周設されたキャリアを用い、ワークの搬出・搬入位置に停止したはみ出し部分に存在する位置決め孔を検知する知覚センサ22と、検知された位置決め孔に基づいて特定されたキャリアの透孔に搬送装置によるワークの搬出及び搬入を制御する制御手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

互いに独立して回転する下定盤と上定盤との中央部近傍に設けられ、独立して回転する太陽ギアと、前記下定盤及び上定盤の外周縁から所定距離離れて設けられ、独立して回転するインターナルギアと、前記下定盤と上定盤との間に挟まれ、外周縁に沿って形成された歯が前記太陽ギアとインターナルギアとに歯合して回転する板状のキャリアに形成された、研磨対象のウェーハ等のワークを保持するワーク保持部に、ワークを搬入及び/又は搬出する搬送装置とが設けられた両面研磨装置において、該キャリアとして、前記下定盤及び上定盤の外周縁からはみ出すはみ出し部分に、前記ワーク保持部の位置を示す目印が常に少なくとも一個存在するように、前記目印が外周縁に沿って間欠的に周設されたキャリアを用い、前記ワークの搬出・搬入位置に停止したキャリアのはみ出し部分に存在する前記目印を検知する検知手段と、前記検知手段で検知された目印に基づいて特定されたキャリアのワーク保持部に、前記搬送装置によるワークの搬出及び/又は搬入を制御する制御手段とを具備することを特徴とする両面研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , B24B 49/12

FI (3件)：

B24B 37/04 Z , B24B 37/04 C , B24B 49/12

Fターム (17件)：

3C034AA19 , 3C034BB71 , 3C034BB81 , 3C034CA22 , 3C034CB01 , 3C034CB20 , 3C034DD10 , 3C058AA07 , 3C058AA13 , 3C058AA16 , 3C058BA07 , 3C058BA14 , 3C058BB02 , 3C058BC02 , 3C058CB04 , 3C058DA06 , 3C058DA09

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-236672
枚葉式両面研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-138530 出願人：東芝セラミックス株式会社
特開昭61-219568

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