特許

J-GLOBAL ID：200903023214871993

薄板の搬送方法及び装置

発明者： 名倉 成之 ,  濱中 亮明
出願人/特許権者： 株式会社日本設計工業 ,  東レエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 松山 圭佑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-261508
公開番号（公開出願番号）：特開2003-063643
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 低コストで、且つ、空気の乱れを生じたりすることなく、大型ガラス基板等の薄板を気体により浮上させて搬送する。【解決手段】 搬送装置10は、ガラス基板12を搬送面14に沿って水平に搬送するものであり、搬送面14の幅方向中央部には搬送方向に長い浮上チャンバ16、その幅方向両側には搬送ローラ列18A、18Bが配置され、浮上チャンバ16の上面板20には気体噴出小孔22が多数形成されていて、ここから供給される低圧の静圧空気によって、上面21とガラス基板12との間に流体膜を形成し、ガラス基板12の幅方向中央部を浮上させ、且つ、この状態でその幅方向両端に搬送ローラ列18A、18Bによって搬送力を付与して搬送する。

請求項（抜粋）：

薄板の、搬送方向に対して直交する幅方向の少なくとも中央部を静圧気体からなる流体膜により浮上させると共に、前記中央部の幅方向両側から両端までの間の2個所で、搬送力を付与することを特徴とする薄板の搬送方法。

IPC (4件)：

B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  C03B 35/24 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 B ,  B65G 49/07 K ,  C03B 35/24 ,  H01L 21/68 A

Fターム (12件)：

4G015GC02 ,  5F031CA01 ,  5F031CA04 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031GA53 ,  5F031GA63 ,  5F031NA02 ,  5F031NA07 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ワーク搬送装置及び搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-089527   出願人：キヤノン株式会社
• 基板搬送方法及び基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-233776   出願人：富士通株式会社
• 基板搬送用ハンド及び基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-353778   出願人：キヤノン株式会社
• 薄板状材の搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-006558   出願人：東レエンジニアリング株式会社