特許
J-GLOBAL ID：200903023243252607

モータ制御装置およびそれを備えたステージ装置

発明者：
伊藤 正和

伊藤 正和 について

, 
森中 寛

森中 寛 について

, 
関岡 賢一

関岡 賢一 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-117545
公開番号（公開出願番号）：特開2007-295654
出願日： 2006年04月21日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】 駆動軸に対する負荷のアンバランスがある状態で、異常発生時の停止を行なった場合でも、負荷のアンバランスに応じたバランスの取れた駆動力で駆動軸を駆動し、機械ストレスの発生を抑制することができるモータ制御装置およびそれを備えたステージ装置を提供する。【解決手段】 第1軸である駆動軸に対する第2軸である負荷軸の、前記駆動軸に対する負荷の不平衡量を示す負荷情報に基づいて、前記駆動軸を制御停止または非常停止させる停止制御部を有する、モータ制御装置を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数軸結合機械に締結された複数のモータと、複数のモータへの給電を制御するモータ制御装置と、第1軸と前記第1軸の駆動負荷となる第2軸とで構成された前記複数軸結合機械であるステージと、を備えたステージ装置において、 前記モータ制御装置が、前記第1軸である駆動軸に対する前記第2軸である負荷軸の負荷情報に基づいて、前記駆動軸を制御停止または非常停止させる停止制御部を有することを特徴とするステージ装置。
IPC (3件)：
H02P 3/00 ,  H01L 21/027 ,  H02P 5/00
FI (3件)：
H02P3/00 D ,  H01L21/30 503A ,  H02P7/67 F
Fターム (20件)：
5F046CC13 ,  5F046CC17 ,  5H530AA06 ,  5H530AA25 ,  5H530BB22 ,  5H530CC01 ,  5H530CC06 ,  5H530CC24 ,  5H530CD01 ,  5H530CE15 ,  5H530CF05 ,  5H572DD01 ,  5H572EE04 ,  5H572FF06 ,  5H572HC07 ,  5H572LL33 ,  5H572LL43 ,  5H572LL46 ,  5H572LL48 ,  5H572MM01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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