特許
J-GLOBAL ID：200903023274158595
ジョセフソン素子の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-090339
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264852
出願日： 1995年03月23日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】銅酸化物高温超電導体の結晶構造に内在するジョセフソン接合を応用したジョセフソン素子において素子の特性を簡便に制御する形成方法を実現する。【構成】銅酸化物高温超電導体の結晶構造に内在するジョセフソン接合を応用してジョセフソン素子を形成するためには、ジョセフソン効果を結晶上の特定領域に限定する必要がある。本発明は、単結晶表面上にジョセフソン接合部、電流端子部および電圧端子部の三つの部分を柱状に形成し、ジョセフソン接合の大きさおよび接合数を制御可能にすることによって、臨界電流の磁場による変調感度の向上、交流ジョセフソン効果で発振されるマイクロ波の発振特性の制御など、ジョセフソン素子の特性の簡便な制御を達成している。
請求項（抜粋）：
銅酸化物高温超電導体の結晶構造に内在するジョセフソン接合を応用するためのジョセフソン素子の形成方法であって、単結晶表面上にジョセフソン接合部、電流端子部および電圧端子部の三つの部分を微細加工技術によって柱状に形成し、ジョセフソン効果を結晶上の特定領域に限定することによって、ジョセフソン接合の大きさおよび接合数を制御可能にしたことを特徴とするジョセフソン素子の形成方法。
引用特許：
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