特許
J-GLOBAL ID：200903023323985656
光波発生装置及び光波発生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 征生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-196236
公開番号（公開出願番号）：特開2004-039927
出願日： 2002年07月04日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】ターゲットを比較的高速に供給して、大光量のEUVを得る。【解決手段】ターゲットTは、帯電部23によって所定の電荷を与えられて帯電し、加速電圧発生部33によって印加された加速電圧によって加速されてプラズマ生成装置3のレーザ照射位置に向けて輸送される。一方、光学式検知器34、35からの検出によって速度演算部37は、ターゲットTの速度検出位置における速度を算出し、時間演算部38は、ターゲットTの速度検出時刻からレーザ照射位置への到達時刻までに要する所要時間を算出し、遅延回路41は、パルス発生回路39から供給されたトリガパルスを所要時間遅延させて、レーザ装置2に供給する。レーザ装置2は、ターゲットTがレーザ照射位置に到達する所定のタイミングでトリガパルスを受け取り、ターゲットTへ向けてパルス状のレーザ光Lを照射する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザ光が照射されることによってプラズマ化し、与えられた励起エネルギを光波に換えて輻射するとともに、再結合によって気体となる固体からなるターゲットを供給するターゲット供給装置と、
レーザ装置から放射されたレーザ光を前記ターゲット供給装置から供給された前記ターゲットに照射して該ターゲットをプラズマ化し、光波を輻射させるプラズマ生成装置とを備えた光波発生装置であって、
前記ターゲットは、飛翔エネルギを与えられ、前記レーザ光の照射のタイミングと同期して、前記レーザ光の照射位置に供給されることを特徴とする光波発生装置。
IPC (7件)：
H01L21/027
, G21K1/00
, G21K5/00
, G21K5/02
, G21K5/08
, H05G2/00
, H05H1/24
H01L21/30 531S
, G21K1/00 X
, G21K5/00 Z
, G21K5/02 X
, G21K5/08 X
, H05H1/24
, H05G1/00 K
4C092AA06
, 4C092AA16
, 4C092AC09
, 5F046GA03
, 5F046GC03
