特許
J-GLOBAL ID：200903023331307578
有機EL素子の製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-001774
公開番号（公開出願番号）：特開2009-164020
出願日： 2008年01月09日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：
【課題】簡単な構成で、蒸着膜厚を長時間にわたって高精度に制御することができる仕組みを提供する。【解決手段】本発明の有機EL素子の製造装置は、有機EL素子の素子基板に有機材料からなる蒸着材料を蒸着させるとともに、素子基板に蒸着される蒸着材料の膜厚を監視する膜厚監視部23を備える。膜厚監視部23は、光透過性を有する測定用板26と、この膜厚監視部23の一部に蒸着材料を付着させるための蒸着窓30を有する防着板27と、測定用板26を回転移動可能に支持する駆動機構28と、蒸着窓30を通して測定用板26に付着した蒸着膜厚を光学的に測定する反射率測定器29とを有する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
有機EL素子の素子基板に有機材料からなる蒸着材料を蒸着させるとともに、前記素子基板に蒸着される蒸着材料の膜厚を監視する膜厚監視部を備える有機EL素子の製造装置であって、
前記膜厚監視部は、
光透過性を有する測定用板と、
前記測定用板の一部に前記蒸着材料を付着させるための蒸着窓を有する防着板と、
前記測定用板を移動可能に支持する駆動手段と、
前記蒸着窓を通して前記測定用板に付着した蒸着膜厚を光学的に測定する測定手段と
を備えることを特徴とする有機EL素子の製造装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, C23C 14/24
, H01L 51/50
H05B33/10
, C23C14/24 U
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG32
, 3K107GG56
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DA03
, 4K029DA12
, 4K029EA01
, 4K029HA01
, 4K029JA02
