特許
J-GLOBAL ID:200903023359734935

粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-115931
公開番号(公開出願番号):特開2007-002225
出願日: 2006年04月19日
公開日(公表日): 2007年01月11日
要約:
【課題】 基板処理装置内の搬送性および装置内に付着している異物の除去性の両者に優れている、クリーニングシートに好適な粘着剤層およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 平面状の表面を有する粘着剤層であって、当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有する粘着剤層を、放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤に、さらに前記アクリル系粘着剤とは相溶化しない化合物を配合した粘着剤組成物を、基材上に塗布して、粘着剤組成物層を形成する工程(1)と、前記粘着剤組成物層に、放射線照射または加熱して、前記アクリル系粘着剤を硬化させるとともに、その硬化物と前記不相溶化合物の相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成する工程(2)と、得られた粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去する工程(3)、により製造する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤の硬化物からなる、平面状の表面を有する粘着剤層であって、当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有することを特徴とする粘着剤層。
IPC (3件):
C09J 7/02 ,  C09J 133/00 ,  C09J 4/00
FI (3件):
C09J7/02 Z ,  C09J133/00 ,  C09J4/00
Fターム (13件):
4J004AA10 ,  4J004AB05 ,  4J004AB07 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004CE02 ,  4J004GA01 ,  4J040DF001 ,  4J040JA09 ,  4J040JB02 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040PA23
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (6件)
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