特許

J-GLOBAL ID：200903057251892510

クリーニングシ-ト、クリーニング機能付き搬送部材、及びこれらを用いた基板処理装置のクリーニング方法

発明者： 並河 亮 ,  寺田 好夫 ,  額賀 二郎
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-135466
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329699
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材、及びクリーニング方法を提供する。【解決手段】 多孔質を有する層がクリーニング層として設けられているクリーニングシート、もしくは多孔質を有する層が設けられたシート状物の片面に、粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートである。

請求項（抜粋）：

多孔質を有する層がクリーニング層として設けられているクリーニングシート。

IPC (6件)：

H01L 21/304 644 ,  B08B 1/00 ,  C09J 7/02 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (7件)：

H01L 21/304 644 G ,  B08B 1/00 ,  C09J 7/02 Z ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 503 G ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (17件)：

3B116AA47 ,  3B116AB54 ,  3B116BA08 ,  3B116BA22 ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CC03 ,  4J004CC07 ,  4J004FA08 ,  5F031CA11 ,  5F031FA02 ,  5F031PA23 ,  5F046AA17 ,  5F046CD05 ,  5F046CD10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 磁気記録媒体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-228350   出願人：ティーディーケイ株式会社
• クリーニングシ-ト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-121242   出願人：日東電工株式会社
• 半導体製造装置のクリーニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-126403   出願人：ソニー株式会社
• ポリオレフィン系ワイピングクロスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-185595   出願人：宇部日東化成株式会社