特許

J-GLOBAL ID：200903023396336656

容器載置ユニット、容器収納装置、及び処理装置

発明者： 上田 一成 ,  松下 道明 ,  伊藤 和彦
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-291090
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124301
出願日： 1998年10月13日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 デッドスペースを生じることなく多数のキャリアカセットを収容できる容器載置ユニットやそのような容器載置ユニットを備えた処理装置を提供する。【解決手段】 キャリアカセットCRからウエハWを出し入れするホームアクセス位置と、外部搬送装置との間でキャリアカセットCRを搬出入するカセット載置部20とを別個に設ける。それにより従来よりよけいにキャリアカセットCRを収納できるようにしてキャリアカセットCRの収納能力を向上させる。その結果容器載置ユニット30の幅を処理ユニット群を収容したスペースの幅と一致させることができるのでデッドスペースがなくなり、スペース効率が向上する。

請求項（抜粋）：

被処理基板を収容する基板容器を載置し、この基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う第2の位置と、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を移動させる手段と、を具備することを特徴とする容器載置ユニット。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 V ,  B65G 49/07 D ,  B65D 85/38 R

Fターム (22件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA05 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA12 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031MA07 ,  5F031MA26 ,  5F031NA02 ,  5F031NA10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• カセット搬出入機構及び半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-078914   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 基板供給装置および基板収容容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-169627   出願人：キヤノン株式会社
• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-061813   出願人：国際電気株式会社
• 特開平4-110242