特許
J-GLOBAL ID:200903023412859257
圧電材料、圧電デバイス用基板及び表面弾性波装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 久義 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-397841
公開番号(公開出願番号):特開2003-201200
出願日: 2001年12月27日
公開日(公表日): 2003年07月15日
要約:
【要約】【課題】 電気機械結合係数が大きく且つ遅延時間温度係数がゼロに近い単結晶圧電材料、圧電デバイス用基板及びこれを用いた表面弾性波装置を提供すること。【解決手段】 この発明に係る圧電材料は、組成式がNdCa4O(BO3)3で表される単結晶からなり、遅延時間温度係数の絶対値が30ppm/°C以下であるものである。この圧電材料を所定のカット方位でカットしてそのカット面を研磨加工することにより、圧電デバイス用基板1が製作される。また、この圧電デバイス用基板に、表面弾性波を励振するための櫛歯型電極2を設けることにより、表面弾性波装置が製作される。
請求項(抜粋):
組成式がNdCa4O(BO3)3で表される単結晶からなり、遅延時間温度係数の絶対値が30ppm/°C以下であることを特徴とする圧電材料。
IPC (2件):
FI (2件):
C30B 29/22 C
, H03H 9/25 C
Fターム (15件):
4G077AA02
, 4G077BC60
, 4G077CF10
, 4G077EA02
, 4G077EC02
, 4G077ED02
, 4G077HA11
, 4G077PD01
, 4G077PE04
, 4G077PJ02
, 5J097AA06
, 5J097AA21
, 5J097FF01
, 5J097HA01
, 5J097HB08
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